0.1微米便携式粒子计数器 - 3950型

完美的0.1微半导体制造颗粒计数器

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这种革命性的0.1-0.3微米2通道半导体粒子计数器采用了今天可用的最轻的形状因子之一;以7.5磅(3.4kg)计时。它专为高端污染控制环境而设计,例如半导体制造设施和洁净室,可用于独立操作或集成到现有的监控系统中,以适应大量应用。

通过内置的4.3英寸LCD颜色触摸屏,可存储多达10,000条记录和USB数据传输能力的能力,使设备操作变得简单。

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  • 0.1μm灵敏度
  • 2通道(0.1-0.3μm)
  • 0.1cfm(2.83l / min) - 符合JIS
  • B9921和ISO21501-4
  • 4.3英寸彩色触摸屏显示器
  • 接口:RS-485,以太网,USB
  • 达到ISO级别1洁净室
  • 监测
  • 半导体制造业
  • 手术室监测

主要单位规格
粒子测量 模型 3950.
测量方法 光散射
流速 0.1 CFM(2.83LPM);准确度:±5%(符合JIS B9921和ISO21501-4)
抽样时间 从6秒到99分钟和59秒进行1个测量周期
间隔时间 从6秒到99分59秒
(开始和再次重复测量的下一次开始之间的间隔)
抽样时间 从1到999周期或连续测量
位置分类 99个地点
测量模式 重复,单,连续,计算
测量显示时间 从1到10秒
测量显示类型 累积σ,差分δ和条形图
最大可测量集中 10,000,000颗粒/ m3,10%重合损失
(符合JIS B9921和ISO21501-4)
计算效率 50±20%(0.1μmpsl颗粒);100±10%(0.2μmpsl颗粒)
(符合JIS B9921和ISO21501-4)
虚假计数 ≤1粒子/ 35分钟
尺寸分辨率 PSL颗粒接近0.3μm(符合JIS B9921和ISO21501-4)的PSL颗粒≤15%
真空 内部泵
展示 4.3英寸彩色LCD,电阻触摸面板
沟通 标准 USB(主机:用于打印机和USB闪存,设备:PC)
以太网,Modbus(RS485
记录媒体 数据记录 最多10,000条记录
数据格式 CSV格式
英语,日语
力量 外部供应 AC适配器输入100至240 V.
操作
环境
主体 从15至35°C,从0到85%RH(没有冷凝)
方面 6“W x 2.5”H x 9“D(W150 x H163 x D228 mm)
重量 7.5磅(3.4kg)

用户手册

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数据表

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软件手册

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